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◆性能特點：
激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強。
精密探針定位裝置，激光光斑對準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡便。
單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描。

馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品。
自動光學(xué)定位，無需調(diào)焦，實時觀測與定位探針樣品掃描區(qū)域。
彈簧懸掛式防震方式，簡單實用，防震效果好。
金屬屏蔽隔音箱，內(nèi)置高精度溫濕度傳感器，實時監(jiān)測工作環(huán)境。
集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%。

◆測量范圍及應(yīng)用：

測量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

應(yīng)用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。

◆ 應(yīng)用案例 Application Case